EUV光刻机每天耗电3万度 缺电成为台积电首要难题

我们知道光刻机很贵，而7nm工艺之上需要的EUV极紫外线光刻机更贵，并且還是一个十分耗电的电老虎。据新闻媒体，台积电每台EUV光刻机每日耗电量达到3万度，其全新整体规划的3nm加工厂年耗电量将达50亿度。缺电，或变成制约台积电的主要要素之一。

EUV光刻机每日耗电3万度

往往EUV光刻机这般耗电，是由于SK 海力士先前曾表明：EUV 的电力能源变换高效率仅有 0.02% 上下。现阶段250瓦输出功率的EUV光刻机，必须键入0.125亿千瓦的电力工程才可以做到，这一耗电量是传统式氩氟雷射的 10 倍之上。250W的EUV设备工作中一天可能耗费3万度电。

“极紫外线物理学特点与一般普遍的紫外线差别巨大。这类光很容易被消化吸收，连气体都不透，因此 全部工作环境务必抽成真空；另外，也没法以夹层玻璃镜片映射，务必以硅与钼做成的独特表层的镀膜反射镜片，来调整光的正确方向，并且每一次反射面仍会损害 3 成动能，但一台EUV机器设备得历经十几面反射镜片，将光从灯源一路导入到圆晶，最终大约只有剩余不上 2% 的光源。”这也是 EUV 机器设备这般耗电的根本原因之一。

正由于这般，中国台湾的平均耗电量高得令人震惊，彻底是由于台积电拉升了均值。而伴随着全世界的优秀新产品都会台积电开展代加工，因而其生产能力开全能源供应可能接纳苛刻的磨练。台积电假如要想再次攀爬先进工艺的高峰期，很有可能最先必须考虑到能源供应的难题了。

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