中国电科实现离子注入机全谱系产品国产化
新华通讯社北京市3月17日电（新闻记者温竞华）新闻记者17日从中国自动化科技集团有限责任公司获知，该集团集团旗下武器装备子集团已取得成功完成离子注入机全谱系商品国内生产制造的，能为全世界芯片制造公司出示离子注入机一站式解决方法。
离子注入机是芯片制造中的重要武器装备。在芯片制造全过程中，必须掺加不一样类型的原素按预订方法更改原材料的电气性能，这种原素以通电正离子的方式被加快至预订动能并引入至特殊半导体器件中，离子注入机便是实行这一夹杂加工工艺的芯片制造机器设备。
据了解，中国电科持续提升性能卓越离子源、髙速圆晶传送等“受制于人”技术性，独立研发中束流、大束流、较高能、特殊运用及第三代半导体材料等离子注入机，加工工艺段遮盖至28nm，总计产生关键专利发明413项，完成在我国芯片制造行业全谱系离子注入机科技创新发展趋势，合理减轻在我国芯片制造行业断线、挎包难点。
武器装备子集团相关责任人表明，下一步，公司将看准高档，紧随先进工艺发展趋势，加速产品研发适用更先进工艺连接点的离子注入机并积极主动推动产业发展。